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クリーンルーム

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取扱設備・機器

クリーンルーム

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クリーンルームとは、空気中の浮遊微粒子・微生物が限定されて清浄度レベル以下に管理され、必要に応じ温度・湿度・圧力等の環境条件も管理できる清浄空間を言います。クリーンルーム内は陽圧で、隙間があっても空気は中に入らず外に出る仕組みになっており、塵が入らない仕組みです。主に半導体、精密機器、医療機器の製造に用いられ、製品や工程により必要とされる空気清浄度クラスが決められています。

クリーンルーム用
恒温恒湿設備

クリーンルーム用の恒温恒湿設備は下記リンクをご覧ください。
恒温恒湿設備

工場用クリーンルーム

工場用クリーンルームは浮遊している塵や埃を除去します。精密機器の製造や半導体工場にて利用されることが多いです。

クリーンブース

クリーンブースは、高い清浄度を保つ部屋を簡易に作ることができます。部屋の構成は、骨組み、ビニールカーテン、HEPAフィルター、送風機とシンプルで、安価で設備を導入できることもメリットです。

ドライクリーンルーム

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ドライクリーンルームでは極めて低い湿度環境が必要とされます。(露点温度-30℃~-50℃)。電池や半導体の製造過程で利用されることも多いクリーンルームです。また、デシカント除湿機を利用することで、低湿度環境かつ「低コスト」を実現できます。

バイオハザードルーム

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ハザードルームの中でも、生物を対象にしたものがバイオハザードルームです。物理的封込レベルによって、BSL1(旧P1)からBSL4(旧P4)までの分類があります。ハザードルームは室内を陰圧に保ち、排気はフィルターを通すことで汚染物質の外部流出を防ぎます。クリーンルームとは逆で、室内が汚れても外は汚さないという発想です。

バイオロジカルクリーンルーム

バイオロジカルクリーンルームは浮遊している塵や埃だけではなく、細菌も除去します。主に、食品加工工場や無菌室で利用されます。

ケミカルハザードルーム

ハザードルームの中でも、化学物質などを対象にしたものをケミカルハザードルームと呼びます。ハザードルームは室内を陰圧に保ち、排気はフィルターを通すことで汚染物質の外部流出を防ぎます。クリーンルームとは逆で、室内が汚れても外は汚さないという発想です。

シールドルーム

シールドルームは、電磁を外部から内部へ、もしくは内部から外部へ漏らさないようシールドによって減衰します。外部から内部へ不要な電磁が入るのを防ぐのが受動的シールド、一方内部で発生した不要な電磁が外部に入らないようにするのが能動的シールドです。

エアシャワー

エアシャワーは、HEPAフィルターで微細な塵埃や細菌をシャットアウトしたジェット気流によって、クリーンルームの出入り口で体に付着したゴミを吹き飛ばします。 エアロックの働きもするので、クリーンルーム内への塵埃の進入を最小限にくい止めることもできます。

HEPAフィルター

HEPAフィルターはクリーンルームには欠かすことのできない高性能フィルターです。微細な塵や埃、細菌を遮断します。0.3㎛粒子を99.97%除去可能です。定期的な交換が必要です。

パスボックス

パスボックスは、クリーンルームへの出入りを最小限にするために設置する、物品の受け渡しが可能な箱です。壁面に取り付け、エアロックの働きをするのでクリーンルーム内への塵埃の進入を最小限にくい止めることができます。

リリーフダンパー

クリーンルーム内は陽圧(正圧)、バイオハザードは陰圧(負圧)に保たれるため、クリーンルーム内と外部で圧力差が生じます。この圧力差によってドアの開閉が困難になります。リリーフダンパーは、部屋の差圧を調整することで、ドアの開閉を楽にすることができます。

TO-REI クリーンルーム対応表
産業 クリーンルーム
性能
クリーンルームの種類 実績
ダウン
フロー
乱流 恒温 恒湿 陰圧 陽圧 バイオ
ハザード
ケミカル
ハザード
ドライ
半導体工場 クラス
1~100.000
- - -
食品工場 クラス
100.000
- - - - -
その他製造工場 クラス
10.000~100.000
- - -
医薬品工場 クラス
10.000~100.000
- -
医薬品研究室 クラス
1~100.000
動物実験室 クラス
10.000~100.000
- - - -

*実績があるものの中でも、対応件数が多いものを◎で表しています。

取扱メーカー

日本エアーテック株式会社、株式会社ニットー冷熱製作所、日軽パネルシステム株式会社
その他のメーカーも対応が可能です。まずはご相談ください。

事例紹介

CASE 01クリーンルーム室内制御

クリーンルーム室内制御

クルーンルーム内生産設備の室圧を一定にしたいとの要望に応え、クリフ製PCD(室圧制御ダンパ)を導入しました。

CASE 02神奈川某所 ドライクリーンルーム

神奈川某所 ドライクリーンルーム

デシカント除湿空調機を新設しました。既存の機器や設備を撤去・改修し、新設機器のスペースを確保しました。室内空気:23℃±2℃、露点温度-40℃DP

CASE 03ドライルーム構築

ドライルーム構築

ドライルーム構築工事を行いました。ハニカム除湿機、中温用ヒートポンプエアコンを導入しました。清浄度:クラス100,000 露点温度:-20℃以下

CASE 04バイオハザードクリーンルーム

バイオハザードクリーンルーム

実験室や飼育室にてバイオハザードクリーンルームの施工を行いました。空冷式チラーや全外気処理用エアハンドリングユニットを導入しています。

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